Arrayed waveguide grating (AWG) เป็นส่วนประกอบแบบพาสซีฟที่สำคัญที่ใช้ในโมดูลออปติคัลความเร็วสูงเพื่อทำการมัลติเพล็กซ์และดีมัลติเพล็กซ์ความยาวคลื่น คุณภาพการประมวลผลของปลายชิปและช่องทางเวฟไกด์ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการเชื่อมต่อทางแสงและความสอดคล้องกันระหว่างช่องทาง Shenzhen Xingte Technology Co., Ltd. ได้พัฒนาเครื่องตรวจสอบปลาย AWG สำหรับการผลิต AWG จำนวนมาก ซึ่งอาศัยการถ่ายภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์กำลังขยายสูงและอัลกอริทึมภาพ AI เพื่อทำการตรวจสอบปลายชิปและช่องทางเวฟไกด์แบบไม่สัมผัส นำการตรวจจับข้อบกพร่องที่ปลายระดับไมครอนเข้าสู่กระบวนการควบคุมคุณภาพอัตโนมัติ
1. ประเภททั่วไปของข้อบกพร่องที่ปลาย AWG
ในระหว่างการตัด การขัดเงา และการทำความสะอาดชิป AWG ปลายจะเกิดรอยขีดข่วน การบิ่น การปนเปื้อน และความเสียหายของเวฟไกด์ ข้อบกพร่องเหล่านี้มักมีขนาดเพียงไม่กี่ไมโครเมตร และยากที่จะระบุได้อย่างน่าเชื่อถือด้วยตาเปล่าหรือด้วยแว่นขยายทั่วไป แต่ก็สามารถทำให้เกิดการสูญเสียการแทรกที่เพิ่มขึ้น การสะท้อนกลับผิดปกติ หรือการครอสทอล์กระหว่างช่องทาง การวางสถานีตรวจสอบปลายโดยเฉพาะในสายการผลิตเพื่อตัดสินสภาพปลายของชิปแต่ละตัวอย่างเป็นกลางจึงเป็นข้อกำหนดเบื้องต้นสำหรับการปกป้องผลผลิตการเชื่อมต่อในภายหลัง
2. เวิร์กโฟลว์การตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์กำลังขยายสูงและ AI
เครื่องจะจับภาพปลายชิป AWG ที่ชัดเจนผ่านระบบถ่ายภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์กำลังขยายสูง จากนั้นอัลกอริทึมภาพ AI ในตัวจะตีความภาพที่ได้โดยอัตโนมัติ ระบบจะจำแนกประเภทรอยขีดข่วน การบิ่น การปนเปื้อน และความเสียหายของเวฟไกด์ที่ปลายโดยอัตโนมัติตามเกณฑ์การตรวจสอบที่ฝังไว้ และส่งผลลัพธ์ผ่านหรือไม่ผ่าน เมื่อเทียบกับการตรวจสอบด้วยสายตาด้วยตนเอง การตีความด้วย AI จะกำหนดเกณฑ์การตัดสินสำหรับหมายเลขชิ้นส่วนที่กำหนด และลดการจำแนกประเภทผิดที่เกิดจากความแตกต่างในประสบการณ์ของผู้ปฏิบัติงาน

3. การวัดเชิงเรขาคณิตของตำแหน่งและระยะห่างของช่องทาง
นอกเหนือจากการจดจำข้อบกพร่องที่ปรากฏแล้ว เครื่องยังสามารถวัดพารามิเตอร์เชิงเรขาคณิตที่สำคัญ เช่น ตำแหน่งช่องทางและระยะห่างช่องทางได้พร้อมกัน ข้อมูลเรขาคณิตจะถูกจัดเก็บพร้อมกับภาพข้อบกพร่อง ดังนั้นวิศวกรกระบวนการจึงสามารถตัดสินได้ว่าการตัดหรือการขัดเงาได้เลื่อนไปหรือไม่ และใช้ข้อมูลเป็นข้อมูลอ้างอิงสำหรับการจัดแนวการเชื่อมต่อในภายหลังกับอาร์เรย์ไฟเบอร์ ดังนั้นการตรวจสอบปลายจึงไม่เพียงแต่ทำหน้าที่เป็นหน้าจอรูปลักษณ์เท่านั้น แต่ยังเป็นอินพุตสำหรับการปรับปรุงกระบวนการแบบวงปิดอีกด้วย
4. การตรวจสอบแบบไม่สัมผัสเพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายทุติยภูมิ
ปลายชิป AWG เป็นพื้นผิวกระจกออปติคัล การวัดแบบสัมผัสทั่วไป ซึ่งหัววัดหรืออุปกรณ์จับยึดเข้าใกล้ปลาย อาจทำให้เกิดรอยขีดข่วนใหม่ การกดทับ หรือการปนเปื้อนน้ำมัน เครื่องใช้วิธีการตรวจสอบแบบไม่สัมผัส ซึ่งเลนส์ออปติคัลไม่เคยสัมผัสพื้นผิวอุปกรณ์ หลีกเลี่ยงความเสียหายทุติยภูมิโดยการออกแบบ ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการวางหลังจากการขัดเงาอย่างละเอียดและก่อนการเชื่อมต่อและการประกอบ ซึ่งสภาพปลายมีความละเอียดอ่อนเป็นพิเศษ

5. การเปลี่ยนฟิกซ์เจอร์อย่างรวดเร็วและการตรวจสอบเป็นชุดอย่างต่อเนื่อง
ฟิกซ์เจอร์เครื่องมือรองรับการเปลี่ยนอย่างรวดเร็วและเข้ากันได้กับข้อกำหนดชิป AWG หลายแบบ ลดเวลาในการตั้งค่าและการจัดแนวเมื่อสายการผลิตเปลี่ยนระหว่างหมายเลขชิ้นส่วน เมื่อตั้งค่าแล้ว เครื่องจะรองรับการตรวจสอบเป็นชุดอย่างต่อเนื่อง โดยทำการถ่ายภาพ การตีความ และการส่งผลลัพธ์ทีละชิ้น ความเร็วของเครื่องตรงตามข้อกำหนดการควบคุมคุณภาพออนไลน์ของการผลิต AWG โมดูลออปติคัลความเร็วสูง และหลีกเลี่ยงการตรวจจับที่พลาดและคอขวดด้านเวลาวงจรที่เกี่ยวข้องกับการสุ่มตัวอย่างด้วยตนเอง
6. การจัดเก็บข้อมูลและการรวม MES
ภาพการตรวจสอบและผลการตัดสินแต่ละภาพจะถูกจัดเก็บโดยอัตโนมัติ และรายงานการตรวจสอบจะถูกส่งออกเป็นชุด ข้อมูลสามารถรวมเข้ากับ MES ของสายการผลิต และเชื่อมโยงกับหมายเลขล็อตชิ้นส่วนและข้อมูลกระบวนการ เพื่อให้สามารถติดตามปัญหาคุณภาพใดๆ กลับไปยังกรอบเวลาและอุปกรณ์เฉพาะได้ Shenzhen Xingte Technology Co., Ltd. ยังคงจัดหาอุปกรณ์อัจฉริยะที่ครอบคลุมการตรวจสอบปลาย การเชื่อมต่อ และการประกอบสำหรับการผลิตส่วนประกอบออปติคัลจำนวนมาก ช่วยให้ลูกค้าสามารถนำการควบคุมคุณภาพปลายเข้าสู่ระบบระดับสายที่สามารถวัดปริมาณและติดตามได้