Une grille à guides d'ondes en série (AWG) est un composant passif clé utilisé dans les modules optiques à grande vitesse pour effectuer le multiplexage et le démultiplexage de longueur d'onde.La qualité de traitement de la face d'extrémité de la puce et des canaux de guidage d'onde affecte directement l'efficacité du couplage optique et la cohérence de canal à canalShenzhen Xingte Technology Co., Ltd. a développé une machine d'inspection de face finale AWG pour la production en série d'AWG,qui s'appuie sur des algorithmes d'imagerie par microscopie à grossissement élevé et d'imagerie par IA pour effectuer une inspection sans contact de la face d'extrémité de la puce et des canaux de guidage d'onde, en intégrant la détection des défauts de la face finale à l'échelle des microns dans un processus automatisé de contrôle de la qualité.
1. Types courants de défauts de face finale des AWG
Lors du découpage, du polissage et du nettoyage des copeaux AWG, la face finale est sujette à des rayures, à des éclats, à une contamination et à des dommages des guides d'onde.Ces défauts sont généralement de l'ordre de quelques micromètres et sont difficiles à identifier de manière fiable à l'œil nu ou avec une loupe commune, mais elles peuvent entraîner une perte accrue d'insertion, une réflexion anormale ou un bruit croisé entre canaux.La mise en place d'une station d'inspection dédiée sur la ligne de production pour évaluer objectivement l'état de chaque puce est donc une condition préalable à la protection du rendement de couplage en aval..
2. Flux de travail de microscopie à grossissement élevé et d'inspection par IA
La machine capture des images claires de la face finale de la puce AWG à travers un système d'imagerie par microscopie à grossissement élevé,et ses algorithmes d'image d'IA intégrés interprètent ensuite les images acquises automatiquementSur la base de critères d'inspection intégrés, le système classifie automatiquement les rayures, les éclats, la contamination et les dommages des guides d'ondes et donne un résultat positif ou négatif.Comparé à l'inspection visuelle manuelle, l'interprétation par IA fixe les critères de jugement pour un numéro de pièce donné et réduit les erreurs de classification causées par des différences d'expérience de l'opérateur.
3. Mesure géométrique de la position et de la hauteur du canal
Au-delà de la reconnaissance des défauts d'apparence, la machine peut mesurer simultanément des paramètres géométriques clés tels que la position du canal et la hauteur du canal.les ingénieurs de processus peuvent donc juger si le découpage ou le polissage a changé, et utiliser les données comme référence pour l'alignement ultérieur du couplage avec les réseaux de fibres.L'inspection de la face finale sert donc non seulement d'écran d'apparence, mais aussi d'entrée pour l'optimisation du processus en boucle fermée.
4Inspection sans contact pour éviter les dommages secondaires
La face d'extrémité de la puce AWG est une surface de miroir optique..La machine utilise une méthode d'inspection sans contact dans laquelle la lentille optique ne touche jamais la surface du dispositif, évitant ainsi des dommages secondaires par conception.Il convient donc à la pose après polissage fin et avant couplage et assemblage, où l'état de la face finale est particulièrement sensible.
5- Changement rapide des appareils et inspection continue des lots
Le dispositif d'outillage prend en charge le changement rapide et est compatible avec plusieurs spécifications de puce AWG, réduisant le temps de configuration et d'alignement lorsqu'une ligne bascule entre les numéros de pièces.la machine prend en charge l'inspection continue des lots, complétant l'imagerie, l'interprétation et la sortie des résultats pièce par pièce.et elle évite les problèmes de détection manquée et de temps de cycle associés à l'échantillonnage manuel.
6. Archivage des données et intégration des MES
Chaque image d'inspection et chaque résultat de jugement sont automatiquement archivés et les rapports d'inspection sont produits par lot.Les données peuvent être intégrées à la ligne MES et liées aux numéros de lot de pièces et aux informations de processus, de sorte que tout problème de qualité peut être retracé à une fenêtre de temps spécifique et à un équipement.continue de fournir des équipements intelligents couvrant l'inspection de la face finale, l'accouplement et l'assemblage pour la production en série de composants optiques, aidant les clients à intégrer le contrôle de la qualité de la face finale dans un système quantifiable et traçable au niveau de la ligne.
