Массивная решетка волновода (AWG) является ключевым пассивным компонентом, используемым в высокоскоростных оптических модулях для выполнения мультиплексирования и демольтиплексирования длин волн.Качество обработки его микросхемы и каналов волновода напрямую влияет на эффективность оптического соединения и консистенцию между каналамиShenzhen Xingte Technology Co., Ltd. разработала машину для проверки конца поверхности AWG для массового производства AWG,который использует высокоувеличенные микроскопические изображения и алгоритмы изображения ИИ для бесконтактной проверки конца чипа и каналов волновода, внедряя в автоматизированный процесс контроля качества обнаружение дефектов в микроскопе.
1Общие типы дефектов конечного лица
Во время нарезки, полировки и очистки AWG, конечная поверхность подвержена царапинам, щелчкам, загрязнению и повреждению волновода.Эти дефекты, как правило, на порядок нескольких микрометров и трудно определить надежно глазами или с обычным увеличителем, но они могут вызывать увеличенную потерю вставки, аномальное обратное отражение или межканальное перекрестное звучание.Таким образом, установка специальной станции контроля конечной поверхности на производственной линии для объективного оценки состояния конечной поверхности каждого микросхемы является необходимым условием для защиты производительности сцепления ниже по производству..
2Микроскопия с высоким увеличением и ИИ
Машина получает четкие изображения конца чипа AWG с помощью микроскопической системы высокого увеличения.и его встроенные алгоритмы ИИ изображения затем интерпретировать полученные изображения автоматическиОсновываясь на встроенных критериях проверки, система автоматически классифицирует царапины на конце поверхности, отломки, загрязнение и повреждения волновода и выдает результат прохождения или отказа.По сравнению с ручной визуальной проверкой, интерпретация ИИ устанавливает критерии суждения для данного номера деталей и уменьшает ошибочную классификацию, вызванную различиями в опыте оператора.

3. Геометрическое измерение положения канала и высоты
Помимо распознавания дефектов по внешнему виду, машина может одновременно измерять ключевые геометрические параметры, такие как положение канала и ширина канала.так что инженеры процесса могут судить, если резка или полировка сместилась, и использовать данные в качестве ссылки для последующего выравнивания сцепления с волоконными массивами.Таким образом, осмотр конечной части служит не только экраном внешнего вида, но и вводом для оптимизации процесса с закрытым циклом.
4Неконтактная инспекция для предотвращения вторичных повреждений
Обычное контактное измерение, при котором зонды или светильники приближаются к конечному лицу, может ввести новые царапины, впадины или загрязнение маслом.Машина использует бесконтактный метод проверки, при котором оптическая линза никогда не касается поверхности устройства, избегая вторичного повреждения по конструкции.Поэтому он подходит для размещения после тонкой полировки и перед сцеплением и сборкой, где состояние конечной части особенно чувствительно.

5Быстрая замена фиксатора и непрерывный контроль партии
Установка инструмента поддерживает быструю смену и совместима с несколькими спецификациями чипов AWG, сокращая время настройки и выравнивания, когда линия переключается между номерами деталей.машина поддерживает непрерывную проверку партий, завершая изображение, интерпретацию и вывод результатов частично.и это позволяет избежать пропущенного обнаружения и узких мест в цикле времени, связанных с ручным отбором проб.
6. Архивирование данных и интеграция MES
Каждое изображение и результат проверки автоматически архивируются, и отчеты о проверке выводятся по партиям.Данные могут быть интегрированы с линией MES и связаны с номерами партий деталей и информацией о процессе, так что любая проблема качества может быть прослежена до определенного временного окна и части оборудования.продолжает предоставлять интеллектуальное оборудование для осмотра конечной части, сцепление и сборка для массового производства оптических компонентов, помогая клиентам ввести контроль качества конечной поверхности в количественную и прослеживаемую систему на уровне линии.